UV光氧凈化器利用的高臭氧UV紫外線光束照射工業廢氣，裂解惡臭/工業廢氣如：氨、胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯等的分子鏈結構，使或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。

利用高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV＋O2→O-+O＊（游離氧）O+O2→O3（臭氧），眾所周知臭氧對物具有強的氧化作用。

惡臭/工業廢氣利用排風設備引入到本凈化設備后，凈化設備運用UV紫外線光束及臭氧對工業廢氣進行協同分解氧化反應，使工業廢氣物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。

利用UV光束裂解工業廢氣中的分子鍵，破壞的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，   達到脫臭及殺滅的目的。